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真空镀膜机设备启动前检查和调试

点击次数:125  发布时间:2019-09-29

 

设备启动前进行下列检查和调试:


1、检查设备接地是否可靠,电气部分是否正确。


2、取下电机上弹性联轴器,启动电机,检查电机运转方向与真空泵壳体旋转箭头方向是否一至,然后再装上联轴器。


3、检查真空泵运转方向与箭头方向是否一致(详见真空泵使用说明书)。


4、检查有关部件的连接螺钉是否拧紧,特别是真空系统的连接螺钉。


5、检查各转动机构的传动是否灵活,有无卡滞。


6、打开蒸发室,对蒸发室内壁和内部零件进行清洁,检查蒸发室内各电极接线是否正确。尤其注意电阻蒸发电极是否与防污板相碰。


7、对蒸发室试抽真空,检查是否能达到应达到的真空指标。

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